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さらに、本実施形態では、ハウジング12の軸線方向先端側の支持部12kと、軸線方向基端側のシリンダ構造12sの内面との間に、これらの間の内側寸法(内径)の差に相当する段差を備えた内側段部12eが設けられるとともに、作動体13の軸線方向先端側の被支持部13kと、軸線方向基端側のシリンダ摺接部13sとの間に、これらの間の外側寸法(外径)の差に相当する段差を備えた外側段部13eが設けられる。これにより、シリンダ構造12sと作動体13の受圧部13d及びシリンダ摺接部13sにより構成されるシリンダ構造の作動面積を大きく確保して大きな把持力を容易に実現できるとともに、軸線方向先端側の構造のコンパクト化が容易化される。

基端部12bの軸線10xを中心とする中央部分には支持部12dが形成される。この支持部12dには、上記軸孔11xに連通する通気口12qが形成される。一方、先端部12cには、軸線10xが通過する中央部分において本体12aの内部に連通する開口部12oが設けられている。この開口部12o内には、上記コレット11の複数のフィンガー部11cと、これらのフィンガー部11cの把持面11gによって把持対象物が把持されることとなる把持空間とが配置される。また、この開口部12oの上記本体12aの内部に臨む開口内縁は、上記コレット11の係止段部11dに対して軸線方向先端側から当接するコレット係止部12rとなっている。

上記の非把持状態から把持状態への移行過程において、作動体13が軸線方向先端側へ移動するとき、作動体13の支持面部13bはコレット11の基準部11aに対して摺動する。このとき、支持面部13bの表面は軸線10xに沿った面となっているため、これと同様の表面を有する基準部11aを備えるコレット11の軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢は保持される。また、コレット11が外力を受けない限りは、保持ばね15によりコレット11の係止段部11dはハウジング12のコレット係止部12rに当接した状態に維持されているので、ハウジング12に対するコレット11の軸線方向の位置は固定されている。これらの構成により、上記移行過程では、コレット11の複数のフィンガー部11cは、軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢、並びに、軸線方向の位置が保持された状態で、把持対象物に対して高精度(高い把持精度及びその繰り返し精度)で作動する。

前記筒体と前記軸体とを非回転時に同軸状態に保持するように前記筒体と前記軸体との間に介装された環状弾性体と、

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コレット、前記コレットを駆動する作動体、及び、前記コレットと前記作動体を収容し、流体供給口を備えるシリンダ構造を含むハウジング、を有するハンドリングユニットと、 前記ハンドリングユニットの位置及び姿勢を定めるユニット駆動系と、

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また、本実施形態では、内周側規制ピン16及び外周側規制ピン17によって、コレット11及び作動体13がハウジング12に対して回転方向に規制されるので、複数のフィンガー部11cの把持面11gによって把持可能な把持対象物に対する把持形状を、円形断面だけでなく、角形断面や楕円断面などの任意に設定することができる。なお、ハンドリングユニット10の回転姿勢を把持対象物の姿勢に合わせることは、後述するハンドリング装置の制御部100によるユニット駆動系の制御によってなされる。

図3には、第2実施形態のハンドリングユニット20の縦断面図(a)及び背面図(b)を示す。この第2実施形態では、第1実施形態と同様のコレット21、ハウジング22及び作動体23を備え、第1実施形態と同様のコネクタ28を介して流体供給口22pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング22の支持部22dに設けられた通気口22qにコネクタ29を接続し、コネクタ29を介して通気口22qから軸孔21x内へ流体を供給したり、軸孔21x内から通気口22qを介して流体を排出したりすることができるようになっている点で第1実施形態と異なる。ここで、通気口22qは、後述する排気装置や流体供給源に接続される場合において上記流体吸排口を構成する。

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