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一方、上記の位置F3では、複数のフィンガー部11cの軸芯が把持対象物Pの中心からさらに大きくずれている。このため、制御部101による制御下のユニット駆動系の動作によってハンドリングユニット10が把持動作を行う位置に向かう途中で、図示のように、少なくとも一つのフィンガー部11cの先端が把持対象物Pに抵触することがある。このようになると、非把持状態のコレット11は、保持ばね15の弾性力に抗して軸線方向基端側へ移動し、その結果、未作動状態の作動体13の駆動部13cから被動部11tが駆動力を受けてしまい、把持対象物Pを掴む前に、把持状態へ移行してしまう可能性がある。このような場合には、把持動作を行う位置に到達する前に、把持対象物Pに接触したフィンガー部11cに対応する把持態様検出器S3~S5のいずれかの検出信号Sdが変化したり、或いは、上記コレット11の軸線方向の位置を検出するコレット位置検出器S2の検出信号Scが変化することにより、制御部101が位置ずれ量とずれ方向とを推定し、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。この場合、把持態様検出器S3~S5の検出信号Sdが変化したフィンガー部11cがどれか、複数のフィンガー部11cの幾つにおいて検出信号Sdが変化したかを判定することにより、位置ずれの水平方向の方位と量を推定することができる。また、上記位置検出器S2の検出信号Sdによってコレット11の退避量を検出することにより、位置ずれの垂直方向の量を推定することもできる。したがって、ユニット駆動系の位置ずれの方位や量を三次元的に検出することができるため、種々の原因による位置ずれを解消することができる。

前記筒体と前記軸体とにわたり設けられ、前記軸体を前記コイルばねの付勢により移動される先端方向停止位置と加工時に加工反力により移動される後端方向停止位置との間を移動可能に位置規制する位置規制部と、

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図7には、第6実施形態のハンドリングユニット60の正面図(a)及び縦断面図(b)を示す。この第6実施形態では、第1実施形態と同様のコレット61、ハウジング62及び作動体63を備え、第1実施形態と同様のコネクタ68を介して流体供給口62pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1~第5実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット61が把持対象物Pの内周部を内側から把持する把持面61gを備える複数のフィンガー部61cを備えている点で第1実施形態と異なる。また、この構成に対応して、作動体63は、コレット61の軸孔61xの内部を通過して、コレット61の内面の一部で構成される被動部61tに内側から当接して駆動力を与える駆動部63cを先端外面に備える。さらに、コレット61は、ハウジング62の内面の一部の支持面部62mに(インロー状態で)嵌合する基準部61aを備えるとともに、その軸線方向基端側に、ハウジング62の内面の一部に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を備えた被固定部61eを備える。この実施形態では、コレット61は、被固定部61eのハウジング62に対する螺合によって軸線方向の位置が固定され、基準部61aのハウジング62の支持面部62mに対する嵌合によって軸線に沿った同軸状の位置及び姿勢が保持されている。これにより、上記各実施形態と同様に、作動時においてコレット61の位置及び姿勢が維持されながら作動体63の駆動部63cにより把持動作が行われるため、把持精度や繰り返し精度を向上できる。

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なお、ハウジング12の先端部12cは、本体12aに対してボルトなどで着脱可能に構成されているとともに、先端部12cを本体12aから取り外した状態ではコレット11も着脱可能に構成される。このため、ハンドリングユニット10を図示しないロボットアームの先端部などから取り外すことなしに、コレット11を交換することができるので、コレットにおける把持構造の変更やスプリングバック量の変更などを容易に行うことができる。

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この実施形態では、作動体63はコレット61の内部から軸線方向基端側に突出した基端部に受圧部63dが形成されるが、この受圧部63dは、先の各実施形態のような、軸線60xの通過部分に軸孔構造を備えておらず、軸線60xが通過する中心部分にも形成されている。このようにすると、外形寸法を増大させずに、受圧部63dの受圧面積を増大させることができるので、コンパクト化を図りつつ作動体63の駆動力を大きくすることができる。なお、コレット61の基準部61aを、その内側にある作動体63の外面に摺接させることにより、軸線に対して同軸状の位置及び姿勢が保持されるように構成してもよい。このとき、図示例と同様に、コレット61をハウジング62に対しては軸線方向に固定してもよく、或いは、第1実施形態と同様に、コレット61をハウジング62に対して係止位置で位置決め可能としつつ、軸線方向基端側には移動可能に構成してもよい。

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最初に、機能実現手段100Aにおける処理内容を説明する。この機能実現手段100Aは、流体供給源102の供給する流体の流体圧を制御することにより、コレット11のフィンガー部11cの把持力を制御する手段である。コレット11のフィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力は、流体圧が受圧部13dに加わることによって生ずる作動力が作動体13に加わり、この作動体13に加わる作動力と、作動ばね14の弾性復元力との差によって定まる駆動力が駆動部13cから被動部11tに与えられることにより、フィンガー部11cによる把持対象物Pの把持力が定まる。このため、上記流体圧を圧力調整器P1により調整することにより、上記把持力を適宜の値に調整し、設定したり、変化させたりすることができる。流体圧の調整は、制御部101の制御信号Rp1によって行うことができる。このとき、作動体位置検出器S1の検出信号Ss、把持態様検出器S3-S5の検出信号Sd、又は、把持対象物検出器S6の検出信号Stの少なくともいずれか一つに基づいて、制御部101が制御信号Rp1を設定し、上記流体圧を変化させる。ここで、以下に説明する検出信号Sdの他に、検出信号Ssからは上述のように把持対象物の把持寸法の大小を推定できるので、把持寸法の大小に適した把持力に調整することが可能になる。また、検出信号Stからは把持対象物の硬さを推定できるので、この硬さに適した把持力に調整することが可能になる。

そこで、本発明の課題は、小型化や軽量化を図ることが容易であるとともに、把持精度や繰り返し精度を確保できるハンドリングユニットを提供することにある。

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